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係統(tǒng)由中央純水設備、純水係統(tǒng)管網、終端純水取(qǔ)水(shuǐ)點、終端超純水設備組成,係統主(zhǔ)機采用一備一用,可同時製水、不間斷供水,純水電導率≤5μS/cm(25℃)達到三級水水質標準,超純水電阻率≥18 MΩ.cm@25℃,達到高純水水質標準。
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